目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影，但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題，本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統，其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…

目前大部分的影像伺服系統，其應用範圍多半以工業自動化為主，較少以娛樂或休閒為導向作開發，且開發核心皆以個人電腦為基本架構，造成系統成本過高且體積龐大，而數位訊號處理器(Digital Signal …

現今機器手臂與環境面接觸的應用上，力量控制為其相當重要的課題。為了在位置控制模式下也能夠達到力量控制的要求，因此本論文設計混合位置/阻抗控制理論，採用阻抗控制讓機械手臂擁有虛擬阻尼、彈簧的順應環境面…

本研究旨在應用立體視覺結合機械手臂於移動式載具電池抽換之研究。由於一般在電動載具使用上都有電源持續問題，因此使得載具在沒電時只能以充電或更換電池方式來補充能源，而以充電方式其最大缺點在於充電時電動載…

飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性，且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點，本研究以…

機器人一般使用位置控制時，會因系統的控制誤差或外界環境產生改變時，導致機構上之毀損，因此必須加入順應性運動控制。由於一般阻抗控制無法調整阻抗參數，順應外界環境的變化，當手臂夾持負載時會因負載之重力產…

雙輪機械人為不穩定的系統，需透過控制器才能使其達到穩定的自我平衡以及行走，因此雙輪機械人的控制技術不斷的被研究。 雙輪機械人研究中，部份文獻使用現代控制為架構並利用狀態回授控制系統的各個狀態變數達到…

本論文之目的在於完成一部裝設有webcam的視覺搜尋機器人系統，它係利用視覺伺服控制的方式來完成搜尋進而撿起目標物的動作，並且具有路徑規劃功能，能有效率的在已知環境內完成撿起目標物的工作。 在偵測目…

本文以半導體製程設備中之微環境為主要研究方向，深入探討晶 圓廠中主要生產設備--直立式爐管之晶舟與晶圓裝載區域，著重於裝 載區域內部流場與污染粒子分佈的探討，期望能在設計無塵室之微環 境時，藉助電腦…